電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)方案
隨著計(jì)算機(jī),、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,，推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,，也帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求,，電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理,，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,，提高生產(chǎn)效率。
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【電子工業(yè)潔凈廠房特點(diǎn)】
潔凈度等級要求高,風(fēng)量,、溫度,、濕度、壓差,、設(shè)備排風(fēng)按需受控,，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格,。其中對濕度的要 求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,，造成CMOS集成損壞,。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,，相對濕度控制在50-60%之間（特殊 潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）,。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適,。芯片生產(chǎn)車間,、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組 成部分，由于電子產(chǎn)品在制造,、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象,，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度,、新鮮空氣量、噪 聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定,。
【瑞輝筑業(yè)·RayHo建議方案】
●電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,，否則就是局部單向流了
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
●電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值
●補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和
●保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,，應(yīng)設(shè)置新風(fēng),，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),，寒冷地區(qū),，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量,，應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值：
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量
●根據(jù)熱,，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量
●向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量